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晶圆是什么 一片晶圆是多大
2023-12-29【读书】
简介晶圆是什么?晶圆是制作半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。经过多道工序,包括纯化、照相制版、研磨、抛光、切片等,将多晶硅融解拉
晶圆是什么?
晶圆是制作半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。
经过多道工序,包括纯化、照相制版、研磨、抛光、切片等,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的圆形硅晶片,也就是晶圆。
一片晶圆是多大?
对集成电路来说:
一般来说4寸晶圆的厚度为0.520mm,6寸晶圆的厚度为
0.670mm左右。
晶圆必须要减薄,否则对划片刀的损耗很大,而且要划两刀。
我们做dip封装,4寸晶圆要减薄到0.300mm;6寸晶圆要减薄到0.320mm左右,误差0.020mm。
晶圆与硅片的区别?
1.尺寸和形状不同:
晶圆主要用于集成电路等微型器件,直径通常在2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸之间。
而硅片无特定用途,其尺寸和形状可以根据需要来设计。
2.精度不同:
晶圆需要具有很高的尺寸精度、表面平整度以及各种参数的精确控制,以满足芯片工艺的要求。
而硅片精度要求相对较低。
3.用途不同:
晶圆经过IC制造流程,可以将上面刻印出成千上万个微小电路,从而用于制造芯片。
而硅片可以做成各种不同的元器件或者其他应用。
4.成本不同:
由于其高精度要求和专业化生产设备等因素,晶圆的成本通常比硅片更高昂。
5.表面处理不同:
晶圆表面通常需要进行特殊处理,如化学机械抛光(CMP)、退火、氧化等,以满足芯片生产过程中的要求。
而硅片可以根据需要进行贴膜、镀金、蚀刻等处理。
总之,晶圆和硅片虽然材质相同,但是其用途、精度、成本和生产工艺等方面有很大的区别。
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